1.本書為國內第一本介紹矽晶圓材料的專業參考書籍。2.本書詳細介紹矽晶的基本性質，矽晶圓材料的製造流程、矽晶圓缺陷控制以及矽晶圓性質檢測等單元，是一本從事半導體領域之學術研究與工程人員必備的專業書籍。
流程 半導體 矽晶
